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输安全、充装存储、分析检测等技术,亦构成行业的核心壁垒。     “工业原料杂质种类繁杂,有的沸点和目标气体相差极小,常规工艺难以分离;有的金属杂质肉眼看不见,却会在芯片上沉积,影响良率。”马建修解释,“每种气体、每种杂质特性各异,须量身定制不同方案,研发多种特制吸附剂,将杂质逐一拦截、筛除。”     半导体生产

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发布时间:15:29:49


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